多晶硅的生產技術主要為改良西門子法和硅烷法。西門子法通過氣相沉積的方式生產柱狀多晶硅,為了提高原料利用率和環境保護,在前者的基礎上采用了閉環式生產工藝即改良西門子法。該工藝將工業硅粉與HCI反應,加工成SiHCI3,再讓SiHCI3在H2氣氛的還原爐中還原沉積得到多晶硅。還原爐排出的尾氣H2、SiHCI3、 SiCl4、SiH2Cl2 和HCI經過分離后再循環利用。硅烷法是將硅烷通過以多晶硅晶種作為流化顆粒的流化床中,使硅烷裂解并在晶種上沉積,從而得到顆粒狀多晶硅。改良西門子法和硅烷法主要生產電子級晶體硅,也可以生產太陽能級多晶硅。

O 硅粉過濾器

O 尾氣回收(CDI)過濾器

 
O 冷氫化裝置壓縮機入口過濾器